一、電子潔凈車間空調(diào)凈化系統(tǒng)主要形式
電子潔凈車間空調(diào)凈化系統(tǒng)主要有以下幾種形式：
1、垂直單向流集中送風方式；
2、風機過濾單元送風方式；
3、隧道送風方式；
4、非單向流送風加層流罩送風方式；
5、微環(huán)境方式。
這幾種形式的特點：
垂直單向流集中送風：活動區(qū)與生產(chǎn)區(qū)同處一室，面積可很大，活動自由，靈活性大正壓頂棚，不利密封
風機過濾單元：同垂直單向流集中送風，但噪聲大耗能較多，不利于維修；負壓頂棚，有利密封
隧道送風：活動區(qū)與生產(chǎn)區(qū)分開，有利于控制污染
非單向流加層流罩：局部操作區(qū)可實現(xiàn)較高潔凈度（1S05級），自由度差，噪聲大
微環(huán)境：生產(chǎn)區(qū)徹底被隔離，機械手操作，易實現(xiàn)其他方式難實現(xiàn)的高潔凈度。
二、垂直單向流集中送風方式
集中送風方式是一種經(jīng)典的方式。集中送風方式就是將多臺空調(diào)凈化機組集中設(shè)置在空調(diào)機房內(nèi)。空調(diào)機房可位于潔凈室的側(cè)面，也可位于潔凈室的頂層。垂直單向流集中送風方式可適用于大面積和潔凈度級別高的潔凈室。
三、風機過濾單元（FFU）方式
風機過濾單元方式也是集中送風，在最近若干年獲得大的推廣該方式靈活性更大。這種送風方式將新風與回風的混合風由單元機組送到潔凈室，再從回風靜壓室經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風靜壓箱與新風混合。這種方式由于不需要大的空調(diào)機房，送風靜壓箱內(nèi)的空氣處于被風機過濾單元中的風機抽吸的狀態(tài)，所以箱內(nèi)呈負壓，因此有利于防止過濾器邊框的泄漏。但是單元臺數(shù)太多，一臺一個電機，發(fā)熱量全散在頂棚中，給制冷帶來過大的負荷。臺數(shù)多，疊加噪聲大，不便于維修。
如果車間跨度很大，新風口開在一側(cè)或兩側(cè)不足以使處理過的新風較均勻地分配到每個FFU，回風也有這種現(xiàn)象，此時也可能要設(shè)必要的新風管道，進入縱深。當風機過濾單元滿布時，其外殼強度應(yīng)滿足上人要求。
由于風機過濾單元只負責空氣循環(huán)及其凈化處理，不能處理循環(huán)風的熱負荷（濕負荷由新風兼管），所以必須在循環(huán)通路上如夾墻內(nèi)設(shè)冷卻裝置。為防潮濕滋生細菌，此冷卻裝置應(yīng)為干表冷器，其進水溫度應(yīng)高于潔凈室露點溫度，其迎面風速不能太大，要使產(chǎn)生的阻力可為風機過濾單元的風機余壓所克服。為防還有一些凝結(jié)水產(chǎn)生，必須考慮適當?shù)呐潘胧２荒茉趭A墻或下技術(shù)層安裝干表冷器時，也有使部分回風回到大機組的做法。
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